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石英坩埚对晶体氧含量的影响

点击次数:   更新时间:20/03/30 14:54:03     来源:www.zbwhxcl.com关闭分    享:

  石英坩埚是一种耐温性强、高纯度的器皿在我们生活中的使用也是比较广泛的,它在拉单晶的时候有比较好的效果。但是很多人对产品的晶体中含氧量的影响不是很了解,接下来我们就一起来了解下:
  1、单晶中氧的主要来源
  虽然坩埚的熔点要高于硅料的熔点,但是在高温过程中熔融的液态硅会侵蚀坩埚,从而导致少量的氧进入晶体内部。在硅的熔点(1420℃)附近,溶硅与坩埚作用,生成SIO进入硅溶体。然后经过机械对流、热对流等方式使SIO传输到熔体表面,因此到达硅熔体表面的SIO以气体形式挥发,而剩下的一小部分SIO溶解在硅液中以氧原子形态存在于液体硅中之后进入晶体内从而影响单晶的氧含量。

石英坩埚


  2、坩埚阻止氧含量释放的措施
  氧主要来源于石英坩埚,因此如何降低坩埚中氧的释放则是单晶降低氧含量的重要手段,而产品品质的好坏直接关系到放含量的释放程度。坩埚中氧的释放过程实际上就是坩埚气泡层穿透透明层向硅液中释放氧的过程,而在坩埚内层烧结一层 3-5mm左右的透明层,从而既保证了坩埚内表面的纯度又不致于使坩埚软化点过低。因此,坩埚透明层的质量好坏决定了坩埚气泡的释放程度。
  以上就是小编与大家分享的关于石英坩埚对晶体中氧含量的影响,分别从单晶中氧的来源和坩埚阻止氧含量释放的措施介绍了,希望可以帮助到大家在使用石英坩埚的时候能够更加的顺利。

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